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电子显微镜的观察极限

新闻来源:未知 发布时间:2011-7-7 8:30:08

按理论计算,电子显微镜分辨本领的极限在3埃左右。此值与2~3种金属原子的大小处于同一数量级,这就意味着用电子显微镜有可能直接看到原子。

市场上出售的电子显微镜,根据其分辨本领可分为:超高分辨本领级、高分辨本领级、普通分辨本领级三等。

超高分辨本领级:达到原子水平的分辨本领,可把原子一个一个分别开观察。

高分辨本领级:只能把数个原子组成的集团作为一个点来观察。

普通分辨本领级:大于20埃的分辨本领。

 

超高分辨本领级

高分辨本领级

普通分辨本领级

分辨本领

<10(1nm)

10-20

20<

直接放大率

-200,000

-100,000

-10,000

加速电压(千伏)

100

80-100

50

聚光镜

双聚光镜

双聚光镜

单聚光镜

消像散装置

不可缺

不可缺

不可缺

电源稳定度

10-5

10-4-10-5

10-4

真空度(毫米汞柱)

10-5

10-4-10-5

-5×10-4


实验室获得电子显微镜分辨率本领理论极限值的意义:仅仅考虑电子束和透镜系统而推算出来的。作为实验室必须考虑到镜体的振动,样品漂移的稳定性,外部磁场的影响,样品和透镜光阑的“污染”,合轴调整,消像散等许多因素。

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