按理论计算,电子显微镜分辨本领的极限在3埃左右。此值与2~3种金属原子的大小处于同一数量级,这就意味着用电子显微镜有可能直接看到原子。
市场上出售的电子显微镜,根据其分辨本领可分为:超高分辨本领级、高分辨本领级、普通分辨本领级三等。
超高分辨本领级:达到原子水平的分辨本领,可把原子一个一个分别开观察。
高分辨本领级:只能把数个原子组成的集团作为一个点来观察。
普通分辨本领级:大于20埃的分辨本领。
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超高分辨本领级 |
高分辨本领级 |
普通分辨本领级 |
分辨本领 |
<10(1nm) |
10-20 |
20< |
直接放大率 |
-200,000 |
-100,000 |
-10,000 |
加速电压(千伏) |
100 |
80-100 |
50 |
聚光镜 |
双聚光镜 |
双聚光镜 |
单聚光镜 |
消像散装置 |
不可缺 |
不可缺 |
不可缺 |
电源稳定度 |
<10-5 |
10-4-10-5 |
<10-4 |
真空度(毫米汞柱) |
10-5 |
10-4-10-5 |
-5×10-4 |
实验室获得电子显微镜分辨率本领理论极限值的意义:仅仅考虑电子束和透镜系统而推算出来的。作为实验室必须考虑到镜体的振动,样品漂移的稳定性,外部磁场的影响,样品和透镜光阑的“污染”,合轴调整,消像散等许多因素。
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