绝不容错过显微镜的新突破

         显微镜的发展有进百年的历史了，近日美国的一家学院利用原子力显微镜开发出一种新的低温工艺，能在短时间内实现以塑料基板制造铁电存储器、能源采集阵列、传感器、制动器等元件。                                                                                                         
       
        由乔治亚理工学院教授Nazanin Bassiri-Gharb所率领的研究团队，通过采用一种热化学纳米光刻技术，开发出一种能将铁电材料沉积在塑料基板上的低温工艺。该团队成员还包括博士后研究员Suenne Kim、教授Elisa Riedo，以及研究生助理Yaser Bastani，他们最近证实，纳米等级的铁电结构能用来在廉价的聚合物上生产铁电元件。
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      研究团队利用原子力显微镜的加热头制作出适合半导体元件或是类MEMS传感器、制动器的铁电结构，包括宽度仅30纳米的线路，以及直径只有10纳米的球体。以铁电存储器为例，该团队估计可利用新开发的工艺达到每平方英寸200GB的容量密度。

        这项研究是有美国乔治亚理工学院(Georgia Institute of Technology)以及美国伊利诺斯州大学(厄本那-香槟分校)和内布拉斯加大学(University of Nebraska)一起合作完成的，并获得美国国家科学基金会(National Science Foundation)与美国能源部(US Department of Energy)的赞助。